中圖儀器3d輪廓測量儀器可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

?中圖儀器3d光學表面輪廓儀檢測儀能夠以優于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。主要用于表面形貌紋理，微觀結構分析。

中圖儀器SuperViewW1非接觸光學表面3d輪廓儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。

SuperViewW1微米級白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器國內白光干涉儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。測件尺寸可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸。

在測量大尺寸樣品時，中圖3d輪廓檢測儀器的拼接功能，能將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。

中圖儀器3d光學輪廓儀設備可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據?？蓮V泛應用于汽車零部件、半導體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高?？蒲性核阮I域中。

W1光學3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術，結合具有優異抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細節，隨意翻轉縮放，都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。